硅片真空退火炉 晶圆退火炉

硅片真空退火炉 晶圆退火炉

型号︰CL

品牌︰晨立

原产地︰中国

单价︰CNY ¥ 280000 / 件

最少订量︰1 件

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产品描述

尺寸:4-8英寸晶圆

晶圆舟:标准25片

控温精度:±3℃

升温速率:10℃/min

洁净等级:百级洁净

真空度:5*10-4 Pa

使用温度:200-550度

付款方式︰ TT

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