爐體
一、爐體材料:
★ 爐絲:Φ8~Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。
★ 絕緣子:採用99瓷製作,碳化硅管用高腳,石英管用矮腳。
★ 保溫棉: 採用英國摩根公司生產的高溫保溫材料。
★ 外殼: 304不鏽鋼板卷制而成,連接處採用不鏽鋼拉鉚釘連接。
★ 熱偶座:進口彈簧卡狀固定座。
★ 把口環:陶瓷纖維把口環,既保溫,又有一定機械強度。
二、爐體參數:
★ 工作溫度: ≤1300℃
★ 恆溫區長度: 500mm-1000mm
★ 爐體內徑: Φ90~Φ360 mm(3~12英吋)
★ 規範使用: 壽命可達20個月以上(1200℃)
★ 替代進口: 全方位配套
三、應用:
青島晨立電子有限公司生產的擴散爐體主要用做半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、THERMCO,荷蘭ASM,英國BTU等國外多種型號擴散爐配套(替代進口),採用國外 的加工工藝,選用進口材料,可應用於處理3~12英吋硅片的擴散爐、太陽能電池片擴散爐.
付款方式︰ 銀行匯款