產品描述

主要參數：    

• 工作溫度範圍： 600-1280 度。

• 使用溫度：1200 度。 

• 每爐可處理 25 片。標準晶圓舟 25 片。

• 爐管有效口徑：滿足 6 寸片，可向下兼容 4、2 寸。 

• 升溫功率：18KVA/每管 。

• 電源：三相五線制： 380V 三相五線。

• 具有斷偶、超溫報警以及二次保護功能。

付款方式︰ TT

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