爐管數:1~4管
配工藝管口徑:Φ90~360 mm (3~12英吋)
恆溫區長度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
單點穩定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)
氣源路數: ≤7路,可配恆溫源瓶、氫氧合成點火器
氣體控制: 浮子/質量流量計
懸臂舟參數: 速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 載荷:17 Kg
超淨工作台: 淨化等級:100級(萬級廠房)
噪音: ≤62dB(A)
振動: ≤3μm
付款方式︰ TT