设备主要技术指标：
1. 工作温度范围：400-1200℃
2. 恒温区长度：≥300mm
3. 恒温区精度：±0.5℃/300mm
4. 气路系统：三路气体系统，采用进口MKS质量流量计、气动阀、等进口部件
5. 温度控制系统：PLC+触摸屏可编程控制方式，自动加手动可方便切换
6. 扩散方式：设备配置真空系统，支持负压扩散方式
7. 报警及保护：超温、断偶、缺水及真空异常系统自动报警及保护
