RTP管式退火爐、真空合金爐用於 材料需要在高真空、快速昇降溫、等條件下進行工藝的非標定製設備，可根據客戶不同需求定製。
主要技術參數
◆工藝管數量：1管
◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英吋）
◆結構型式：臥式熱壁型
◆工作溫度範圍：200～1100℃
◆恆溫區長度及精度：±1℃/600mm
◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆真空度： 3×10-4Pa
◆升溫速度： 60度/min
◆降溫速度： 60度/min
◆控制方式： 工業微機控制
◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制
