一、設備結構:1、操作方式:左(右)手操作方式 2、硅片尺寸:圓形6寸片 3、工藝布局:滿足客戶工藝要求 4、自動化程度:工控機控制系統自動控制工藝流程 5、送取片方式:手動進出舟。 6、外形:主機1台，主機架為臥式兩管。 二、主要技術參數: 1、加熱爐管有效口徑:滿足6英吋硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。 2、工作溫度範圍: 200~800℃ 3、恆溫區長度及精度: 600mm， 4、控制方式:由工控機統一管理工藝
5、真空度：2*10-4 Pa
