1. 外型形式：單管立式，加熱
2. 硅片尺寸：156*156方片/准方片
3. 工作溫度範圍：400-1200℃
4. 恆溫區長度：≥300mm，單次可裝載10片156*156方形硅片，背靠背裝片模式，配石英舟
5. 恆溫區精度：±0.5℃/300mm
6. 氣路系統：三路氣體系統，採用進口MKS質量流量計、氣動閥、等進口部件
7. 溫度控制系統：PLC+觸摸屏可編程控制方式，自動加手動可方便切換，溫控系統採用進口溫控儀，溫度、流按工藝自動調節
8. 擴散方式：設備配置真空系統，支持負壓擴散方式
9 尾氣處理：設備配備尾氣處理系統，採用溶液吸收發吸收尾氣中的有害成分
10.冷卻系統：設備配有冷水系統，用於保護密封裝置及冷卻加熱器外殼
11. 報警及保護：超溫、斷偶、缺水及真空異常系統自動報警及保護
