爐管數：1～4管
配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英吋)
恆溫區長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
單點穩定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
氣源路數： ≤7路，可配恆溫源瓶、氫氧合成點火器
氣體控制： 浮子/質量流量計
懸臂舟參數： 速度： 20～1000 mm/min 行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 載荷：17 Kg
超淨工作台： 淨化等級：100級（萬級廠房）
噪音： ≤62dB（A）
振動： ≤3μm
