設備主要技術指標：
1. 工作溫度範圍：400-1200℃
2. 恆溫區長度：≥300mm
3. 恆溫區精度：±0.5℃/300mm
4. 氣路系統：三路氣體系統，採用進口MKS質量流量計、氣動閥、等進口部件
5. 溫度控制系統：PLC+觸摸屏可編程控制方式，自動加手動可方便切換
6. 擴散方式：設備配置真空系統，支持負壓擴散方式
7. 報警及保護：超溫、斷偶、缺水及真空異常系統自動報警及保護
