晶圓真空退火爐主要用於半導體晶圓在高真空環境下的低溫退火。
尺寸：4-8英吋晶圓
晶圓舟：標準25片
控溫精度：±3℃
升溫速率：10℃/min
潔淨等級：百級潔淨
真空度：5*10-4 Pa
使用溫度：200-550度
