主要技術參數
◆結構型式：臥式熱壁型
◆工作溫度範圍：300～1280℃
◆恆溫區長度及精度：±0.5℃/1080mm
◆氣體流量設定精度:±1％F.S
◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）
◆控制方式： 工業微機控制
◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制
