爐體
一、爐體材料:
★ 爐絲：Φ8～Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。
★ 絕緣子:採用99瓷製作，碳化硅管用高腳，石英管用矮腳。
★ 保溫棉: 採用英國摩根公司生產的高溫保溫材料。
★ 外殼: 304不鏽鋼板卷制而成,連接處採用不鏽鋼拉鉚釘連接。
★ 熱偶座：進口彈簧卡狀固定座。
★ 把口環：陶瓷纖維把口環，既保溫，又有一定機械強度。
二、爐體參數:
★ 工作溫度： ≤1300℃
★ 恆溫區長度： 500mm-1000mm
★ 爐體內徑： Φ90～Φ360 mm（3～12英吋）
★ 規範使用： 壽命可達20個月以上（1200℃）
★ 替代進口： 全方位配套
三、應用：
青島晨立電子有限公司生產的擴散爐體主要用做半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、THERMCO，荷蘭ASM，英國BTU等國外多種型號擴散爐配套（替代進口），採用國外 的加工工藝，選用進口材料，可應用於處理3～12英吋硅片的擴散爐、太陽能電池片擴散爐.
